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Standard-Scanning-Akustikmikroskop (SAM)
Das Standard-Ultraschall-Scanning-Mikroskop ist eine universelle zerstörungsfreie Prüfanlage für verschiedene Leistungshalbleiter und Packaging-Bauteile. Die Be- und Entladung erfolgt manuell, während die Anlage Ultraschallscan und Bildanalyse automatisch durchführt. Wassertankgröße und wasserdichte Vorrichtungen können nach Produktspezifikation kundenspezifisch ausgelegt werden.
Anwendungsbereich
Delaminationsprüfung von IGBT-/SiC-Modulen, Delaminationsprüfung von Halbleiterchip-Packages, Schweißfehlerprüfung wassergekühlter Kühlplatten, Diamantdickenmessung und interne Defekterkennung
Produktvorteile
- Zerstörungsfreie Vollprüfung: keine Probenzerstörung, effiziente Wiederholprüfung möglich, das Prüfteil bleibt weiter verwendbar
- Breites Frequenzband 1–500 MHz: niedrige Frequenz für große Eindringtiefe und tiefe Defekte in IGBT-Modulen; hohe Frequenz für hohe Auflösung und Mikroporen in Chip-Packages
- Mehrlagen-Delaminationsscan: unterstützt bis zu 1.000 Schichtscans, geeignet für komplexe mehrlagige Packaging-Strukturen
- Mehrkopfoptionen: Einzel-, Doppel- oder Vierkopfkonfiguration; links/rechts-Doppelköpfe verdoppeln die Effizienz, Vierkopfkonfiguration für hohen Durchsatz
- C+T-Synchronscan: ein Scan liefert gleichzeitig Bilder im Reflexionsmodus (C-SAM) und Transmissionsmodus (SAT)
- Schwingungsarme Granitplattform, Linear-Motor-Portal mit Doppelantrieb; Scanpräzision und Geschwindigkeit sind klassischen Linearführungs-/Spindelsystemen überlegen
Technische Daten
| Parameterbezeichnung | Spezifikationswert |
| Gesamtabmessungen | 1.070 mm × 950 mm × 1.500 mm |
| Effektiver Scanbereich | 400 mm × 320 mm (kundenspezifisch anpassbar) |
| Maximale Scangeschwindigkeit | 1.000 mm/s |
| Empfohlene Bildauflösung | 1 ～ 4.000 μm/pixel |
| Ultraschall-Sende-/Empfangsbandbreite | 1 ～ 500 MHz |
| Dreiachsplattform | Granitplattform, X-/Y-Achsen-Linearmotoren, Doppelantrieb im Portal |
| Prüfkopfkonfiguration | Einzel-, Doppel- oder Vierkopfkonfiguration (optional) |
| Scanmodus | C-Scan, B-Scan, A-Scan; unterstützt C+T-Synchronscan |
| Wasserzufuhr- und Ablaufsystem | Wasserdruck-Zulauf, Schwerkraftablauf, optionaler Pumpenablauf |
| Dichte Vorrichtung | Wasserdichte Vorrichtungen können nach Produktspezifikation kundenspezifisch ausgelegt werden |
Halbleiter-Packaging-Prüfung bei variantenreicher Klein- und Mittelserie, F&E-Prozessvalidierung und Produktionsqualitäts-Stichprobenprüfung
